主要性能指标:
玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系统:直联旋片真空泵2L/S
真空检测:皮氏计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
主要性能指标:玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯金靶尺寸:Φ58mm真空系统:直联旋片真空泵2L/S真空检测:皮氏计真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节主要性能指标:
玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系统:直联旋片真空泵2L/S
真空检测:皮氏计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
主要性能指标:
玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系统:直联旋片真空泵2L/S
真空检测:皮氏计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
主要性能指标:
玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系统:直联旋片真空泵2L/S
真空检测:皮氏计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节