光电位置传感器报价光电位置传感器报价型号:DR777-25*25MM库号：M64411 查看hh光电位置传感器 （PSD） PSD 光电位置探测器 PSD（Position Sensitive Detectors）是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD 由 P 衬底、PIN 光电二极管及表面电阻组成。与 CCD 探测器相比，PSD 有诸多优点，如位置分辨率高，响应速度快和处理电路简单等。另外，位置信号与落在探测器上的光斑形状无关。 我所可提供各种精度和规格尺寸的 PSD 探测器。 特点 ●位置分辨率高 ●光谱响应宽 ●响应速度快 ●位置和光强同时测量 ●不受光斑的约束 ●性高 应用范围 ●光学位置和角度的探测 ●光学遥测系统 ●位移和振动测量 ●激光对中和准直 ●距离测试 ●人类运动姿态分析
工作原理与PSD 特点 1结构 如图 1 截面图所示，PSD 由在平面硅衬底上的三层组成：P 型层在表面，N 型层在另一面，I 层在它们中间。落在 PSD 上的入射光转换成光电子后由 P 型层上两端电极探测并形成光电流。 图 1 2原理 当一束光落在 PSD 上，相应于光能量的电荷在入射点产生，电荷通过 P 型电阻层被电极收集。P 型层是均匀一体的电阻层，被电极收集到的光电流与入射点和电极间距成反比。 由此可得出如下公式：I1 和 I2 是电极的光电流， L 和 I0 分别代表电极间距和总光电流。
图 2
当 PSD 几何设定为坐标原点：
I 1 (1 2 x )I
----------（1）
I 1 (1 2 x
)I （2）
1 2 L A 0 2 2 L A 0
I 2 I1 2x A
----------（3）
I1 L 2x A
----------（4）
I1 I 2 L I 2 L 2x A 当 PSD 一端设定为坐标原点：
I L x B I 1 L 0
----------（5）
I x B I 2 L 0
-----------（6）
I 2 I1 2x B L
----------（7）
I1 L 2x B
----------（8）
I1 I 2 L I 2 x B 由公式（3），（4），（7），（8）显示，不同的比率可得出相应的与光能量无关的入射光点的位置。 3一维 PSD PSD 分两种类型：一维 PSD（称 1D-PSD）和两维 PSD（称 2D-PSD）探测器，图 3a 是 1D-PSD 的结构图。
a b 图 3 图 3b 是 1D-PSD 的等效电路图。由于有寄生 Cj 和 Rp，它们的时间常数决定了 PSD 的响应速度。通过集成电路处理，1D-PSD 可用于探测 100ps 脉冲宽度的激光光斑。 42D-PSD 2D-PSD 是一种改进型四侧面结构，包括改进敏感面和电极。另外，器件暗电流小，响应速度高和设置偏压容易，边缘畸变小。 图 5 5转换公式 PSD 光敏面上光点位置可由如下公式得出：这里 X1 和 X2 代表每一电极输出信号（光电 流），x 是光点位置坐标。
X 2 X 1 2x
X 1 X 2 L
图 6
( X 2 Y1 ) ( X 1 Y2 ) 2x
X 1 X 2 Y1 Y2 L ( X 2 Y2 ) ( X 1 Y1 ) 2 y
图 7 6电路 图 8 是 1D-PSD 直流处理电路原理图。Vr 是偏置电压。
X 1 X 2 Y1 Y2 L图 8
7PSD 处理电路 我所可提供 1D-PSD 和 2D-PSD 信号处理电路。1D-PSD，2D-PSD 分别是 1D-PSD 和2D-PSD 非调制信号处理板。只要简单地把处理板连接电源，位置信号就能得到。 本所研制开发了调制信号处理电路，数据可以液晶显示，可以通过 RS232 口与计算机通讯。 本所还具有 PSD 应用整机开发的实力。 PSD 探测器 ●W101（1D-PSD） 光敏面 1×3mm 分辨率 0.1μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 0.5μs 工作温度 -10～60℃
●W103（1D-PSD） 光敏面 1×15mm 分辨率 0.1μm
●W104（1D-PSD） 光敏面 2.0×20mm 分辨率 1μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 1μs 工作温度 -10～60℃ ●W105（1D-PSD） 光敏面 2.5×34mm 分辨率 1μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 5μs 工作温度 -10～60℃ ●W201（2D-PSD） 光敏面 10×10mm 分辨率 1μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 0.8μs 工作温度 -10～60℃
●W202（2D-PSD） 光敏面 15×15mm 分辨率 1μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 0.8μs 工作温度 -10～60℃
●W203（2D-PSD） 光敏面 21×21mm 分辨率 2μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 1μs 工作温度 -10～60℃
●W204（2D-PSD） 光敏面 27×27mm 分辨率 2μm
●W205（2D-PSD） 光敏面 43×43mm 分辨率 5μm 光谱响应范围 380～1100nm 响应时间 5μs 工作温度 -10～60℃ 辅助产品 ●PSD 精度标定系统
W203（2D-PSD）技术参数 光电参数 符号 测试条件 典型值 单位 光敏面面积 φ 25×25 mm 光谱相应 λ 320～1100 nm 光谱峰值相应 λ Vr=5V, 920 nm 灵敏度 Re Vr=5V, λ=920nm 0.5 A/W 位置分辨率 Pr 1.5 μm 位置检测误差 E A 区：±80, B 区：±150 μm 暗电流 Id Vr=5V, 100 nA 工作电压 VR 5 V 工作温度 T -10～50 ℃
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