质量流量控制仪报价质量流量控制仪报价型号:D07-26C库号：M410142 流量控制器型号：D07-26C卡套连接用途和特点 质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环境和真空等多种行业的科研和中有着重要的应用。其应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任*意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制器与显示仪之间用配套用电缆连接。 主要技术指标 型号：D07-26C 流量规格：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM 准确度：±1.5 % F.S. 线性：±1% F.S. 重复精度：±0.2 % F.S. 响应时间：≤10 sec 工作压差范围：0.1~0.5 MPa 耐压：3 MPa 温度系数：Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; 工作环境温度：5 ℃~45 ℃ 输入信号：0 V~+5.00 V 输出信号：0 V~+5.00 V 电插头形式：DB15 pin（Female） 电源：+15 V 50 mA -15V 200 mA 重量：1.1 kg 注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量的单位规定为 : SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分) 标准状态规定为 : 温度 --- 273.15K ( 0 ℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) 在流量计MFC/MFM 产品，单位SCCM和“ mL/min, 0 ℃ ,1atm" 等同，单位SLM和“L/min, 0 ℃ ,1atm" 等同。 F.S ． (Full Scale): 满量程值 
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