气体流量控制器报价气体流量控制器报价（氢气） 0-300 sccm 型号:XLRB-D07-19B库号：M410042 质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于 对气体的质|量流星进行测量;质|量流量控制器 (Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的 质|量流量进行测量和控制。它们在半导体WEI电 子工业、TE|种材料研制、化学工业、石油工业、真空等多种领域的科研和中有着应用。其典型的应用场合包括;电子工艺设 备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅 射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、WEI| 反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱 仪及其它分析仪器。 D07-19B 型 MFC 性能指标 流量规格( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 流量控制范围：2-99.99999999%ofF.S. 准|确|度±1 % F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.) 线性±0.5 % F.S. (20,30SLM:±2 % F.S.J 重复精度±0.2 % F.S. 响应时间≤2 sec 工作压差范围≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa(14.5~72.5 psid) > 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa(14.5~43.5 psid) 工作压力≤1 MPa(145 psig) 耐压3MPa (435.1 psig) 工作环境温度5°C~45°C 输入信号0V~+5.00V.(输入阻|抗＞100K,输出电流≯3mA) 输出信号0V~+5.00V.(输入阻|抗＞100K,输出电流≯3mA) 电源+15V 50 mA; -15V 200mA 重量0.95 kg 注意:质|量流量计和质|量流量控制器出厂通常用氮 气(N2)标定。 质|量流量的单位规定为; SCCM (标准升/分); SLM (标准升/分) 标准状态规定为:温度--- 273.15K (0°C ); 气压- 101325 Pa (760mm Hg)，单位SCCM 和"ml /min, 0°C,1atm"等同，单位SLM和"L/ min, 0°C,1atm"等同。 F.S. (Full Scale):满量程值 
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