全自动四探针测试仪报价全自动四探针测试仪报价型号:RR11-FT-3110B库号：M409689 功能介绍四点探针法、全自动化运行测量系统PC软件采集和数据处理、ASTM方法 测量电阻率、方块电阻、厚度可调探针压力、测试点数、多种模式显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值 提供标准校准电阻件、数据统计分析适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片； 表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；电极设计，如电镀铜电阻测量等；规格型号 FT-3110B（可扩展） 1.方块电阻 10^-6～2×10^5Ω/□2.电阻率 10-7～2×106Ω-cm 3.测试电流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 4.电阻精度 ≤0.3%（标准电阻） 5.PC软件操作 PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 6.压力范围 探针压力可调范围：100-500g 7.探针 钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 8.载台类型及尺寸选购 选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格 9.分析模式 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 10.重复性 单点重复性：重复性≤0.5% 11.防护功能 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 12.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
