离子溅射蒸碳仪型号:ZX/SD-900C库号：M413336 原理： 溅射功能依据二JI(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自动控制电路控制真空室压QIANG、电离电流及任YI选择所需要的电离气体。根据电场中气体电离特性，采用DA容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层均匀纯净。 热蒸发功是能通过对碳纤维绳加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺。 参数： 仪器尺寸：主机300mm×360mm×380mm（W×D×H） 蒸镀300mm×360mm×160mm（W×D×H） 真空样品室：玻璃腔体160mm×110mm（D×H） 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H） 溅射靶：二极直流溅射靶（标配）磁控靶（选配） 溅射靶材：Au 溅射靶材大小：φ50mm 样品台：50mm(D) 溅射工作电压：0-1600V(DC)可调 溅射电流：0-50mA(磁控0-100mA) 溅射定SHI：0-999S 蒸碳电流0-100A(AC) 蒸发材料：碳纤维 蒸发工作电压：0-30V 蒸发时间：0-1S 微型真空气阀：可连接φ3mm软管 可通入气体：多种 真空泵：2升机械旋转泵 速率：0--10nm/min（磁控0—60nm/min） 用途： 1、适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）观察前对样品的喷金、喷铂、喷碳等。 2、非导体材料实验电极制作（喷金、喷铂、喷银等） 3、其他可以满足条件的镀膜实验。
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