产品简介：
5000系列专为普通气体的监控而设计。由于我公司的信号跟踪检定能力设计，该传感器可直接测量流体质量。可侦测zui低流速为20 nL/min的流体。传感器可应用于多气流管道的测量、泄漏侦测，HVAC控制，净化空气或氮气监控，环境设备如空气采样机、分析仪器如GC分光仪。
5001可设定为可测满量程为1-1000 sccm （1 SLPM），并可根据客户需求进行定制。该产品可即插即用，具有多种用途。
产品特点：
－专为流量跟踪测量而设计，测流量zui低可达20nL/min
－卡口式设计可应用于多气道
－快速响应时间有利于精密测量的应用
－在分析设备表现，如：GC分光仪
－多样化的可调节方式可轻松应用于不同环境
－内置安全插件可适用于更多的应用中
5001 单 位
满量程 1 to 1000 sccm （NmL/min）
工作电压 8~18 Vdc
输出方式 RS232, I2C, 模拟
zui大输出 4.5 Vdc
精度 ±（1.5+0.2FS） %读数
重复性 ±0.75 %读数
零点飘移 0.5 Vdc
响应时间 50 msec
zui大压力 0.8 MPa
工作温度 -20~+70 °C
标准校准气体 空气
机械连接 O型密封圈
选型表：
型号
电气接口
机械接口
zui大工作
压力
准确度
zui大流量
5001-5SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
5SCCM
5001-50SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
50SCCM
5001-200SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
200SCCM
5001-500SCCM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
500SCCM
5001-1SLPM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
1SLPM
5001-2SLPM
5Pin插针
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
2SLPM
历史资料:2009-12-15版本
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